為確保傳感器精度和性能的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，消除彈性元件在機(jī)械加工和熱處理中產(chǎn)生的殘余內(nèi)應(yīng)力是十分重要的。消除彈性元件殘余內(nèi)應(yīng)力的方法很多，通常有一下幾種：
（1）時(shí)效。最有效的辦法是長(zhǎng)期自然時(shí)效（加工后放置半年、一年或更長(zhǎng)的時(shí)間）；也可采用加溫（100~200°C）存放（數(shù)十至數(shù)百小時(shí)）的人工時(shí)效方法，以加速穩(wěn)定的過(guò)程。
（2）退火。由于退火溫度較高（比回火溫度要稍低），保溫時(shí)間較長(zhǎng)，效果比較明顯。
（3）反復(fù)加載和機(jī)械振動(dòng)。采用反復(fù)加載和機(jī)械振動(dòng)的辦法，有利于內(nèi)應(yīng)力的加速釋放。特別是在應(yīng)變式光電開(kāi)關(guān)元件敏感器中，在貼片后進(jìn)行疲勞加載，有利于改善光電開(kāi)關(guān)元件敏感器的性能。在需要考慮應(yīng)變計(jì)的壽命時(shí)，可以在貼片前適當(dāng)增加疲勞次數(shù)，而貼片后適當(dāng)減少疲勞加載次數(shù)。
（4）冷處理。該方法是建立在使光電元件淬火后材料中的剩余奧氏體轉(zhuǎn)變?yōu)轳R氏體基礎(chǔ)上的一種阻值穩(wěn)定的處理。一般是在淬火、第一次回火后，冷卻到60度時(shí)放入低溫環(huán)境中進(jìn)行保溫處理。
一般光電開(kāi)關(guān)元件敏感材料的淬火溫度約為850°C（油冷），回火溫度在400~500°C，硬度為HRC34~48。
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當(dāng)前位置：
