接近傳感器運用MEMS技術，在智能手機中得到了普及。
觸摸屏手機流行之初，用戶們就發現了觸摸屏的一個缺陷：當我們用常見的姿勢接起電話時，往往臉部會碰到觸摸屏幕上，無意中點擊到了掛機鍵或者免提鍵，造成不必要的尷尬。于是，手機廠商利用MEMS技術，將MEMS接近傳感器設計進了觸摸屏手機，在接電話的時候自動鎖屏，避免誤觸發。另外，鎖屏的同時還可以關掉背光，可以有效節能，延長待機時間。
智能手機就是運用了MEMS環境光感器和接近傳感器：即環境光檢測（根據傳感器的照度用受光部檢測的光量來判斷周圍的明暗）與接近檢測（從具備傳感器的發光源放射的光線照射到測量對象上，根據反射到傳感器的接近用受光部的光量來判斷距離測量對象的遠近）。
環境光傳感器可以優化調節LED背景燈的照明，這樣不管是在昏暗的電影院還是光照充足的室外，在任何環境下我們的手機都能自我調節到適合的亮度。接近傳感器可以在接聽電話的時候關掉觸屏，這樣我們就不會觸到屏幕上的按鍵導致突然掛斷電話或者點開其他功能了。
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