（1）動(dòng)作距離 當(dāng)被測(cè)物由正面靠近接近開關(guān)的感應(yīng)面時(shí)，使接近開關(guān)動(dòng)作（輸出狀態(tài)變?yōu)橛行顟B(tài)）距離為接近開關(guān)的動(dòng)作距離δmin（單位為mm，以下同）。
（2）動(dòng)作頻率 美妙連續(xù)不斷地進(jìn)入接近開關(guān)的動(dòng)作距離后又離開的被測(cè)物個(gè)數(shù)或次數(shù)稱為動(dòng)作頻率。若接近開關(guān)的動(dòng)作頻率太低而被測(cè)物又運(yùn)動(dòng)得太快時(shí)，接近開關(guān)就來不及響應(yīng)物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，有可能造成漏檢。
（3）復(fù)位距離 當(dāng)被測(cè)物由正面離開接近開關(guān)的感應(yīng)面，接近開關(guān)轉(zhuǎn)為復(fù)位時(shí)，被測(cè)物離開感應(yīng)面的距離δmin。
（4）額定工作距離 額定工作距離指接近開關(guān)在實(shí)際使用中被設(shè)定的安裝距離。在此距離上，接近開關(guān)不應(yīng)受溫度變化、電源波動(dòng)等外界干擾而產(chǎn)生誤動(dòng)作。額定工作距離必然小于動(dòng)作距離，但是若設(shè)置的太小，有可能無法復(fù)位。實(shí)際應(yīng)用中，考慮到各方面環(huán)境因素干擾的影響，較為可靠的額定工作距離約為動(dòng)作距離的75%。
（5）動(dòng)作滯差 動(dòng)作滯差△δ指復(fù)位距離與動(dòng)作距離之差。動(dòng)作滯差越大，對(duì)抗被測(cè)物抖動(dòng)等造成的機(jī)械振動(dòng)干擾的能力就強(qiáng)，但動(dòng)作準(zhǔn)確度就越差。
（6）重復(fù)定位準(zhǔn)確度（重復(fù)性） 它表征多次測(cè)量的動(dòng)作距離平均值。其數(shù)值離散性的大小一般為大動(dòng)作距離的1%-5%。離散性越小，重復(fù)定位準(zhǔn)確度越高。
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